鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好，低真空下可以對(duì)不導(dǎo)電樣品無(wú)荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析、斷口形貌分析，在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機(jī)械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途。

 

工作原理：

通過對(duì)電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)，在陽(yáng)極作用下，處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過掃描線圈磁場(chǎng)的控制，電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號(hào)，經(jīng)探測(cè)器收集、放大器放大后，調(diào)制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測(cè)。

 

JSM-IT500 鎢燈絲掃描電子顯微鏡是JEOL InTouchScope系列推出的新機(jī)型。有哪些優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)呢？

 

一、Zeromag

 

從樣品座圖形和CCD圖像上可以尋找視野和分析位置。尋找視野非常輕松，多視野連續(xù)分析的位置也很容易。

光學(xué)CCD圖像和SEM圖像的結(jié)合和無(wú)縫操作大大提高工作效率！

利用Zeromag很容易設(shè)定大面積的蒙太奇區(qū)域，有利于成像和觀察。蒙太奇功能在斷裂分析和大區(qū)域中識(shí)別異物等從大面積區(qū)域上獲取詳細(xì)信息時(shí)非常有效。

 

二、實(shí)時(shí)分析，SEM和EDS一體化集成     

 

在SEM圖像觀察過程中，進(jìn)行EDS分析                      

利用Live Analysis功能，可在觀察窗口中進(jìn)行被觀察區(qū)域的EDS分析?？梢院苋菀椎卣业阶约焊信d趣的元素，還能發(fā)現(xiàn)意料之外的元素。

①顯示存在于測(cè)試區(qū)域中的主元素。能元素并顯示“Alert”。

②會(huì)顯示分析區(qū)域的特征X射線譜圖和自動(dòng)定性分析結(jié)果。

③一鍵點(diǎn)擊就可以在電鏡操作界面和詳細(xì)分析顯示界面間切換。

 

三、數(shù)據(jù)集中管理軟件SMILE VIEW™ Lab，無(wú)縫創(chuàng)建報(bào)告                  

 

SMILE VIEW™ Lab是能集中管理與樣品臺(tái)位置聯(lián)動(dòng)的CCD圖像、SEM圖像、EDS分析結(jié)果等數(shù)據(jù)并快速生成報(bào)告的數(shù)據(jù)管理器。查看以前獲得的數(shù)據(jù)、重新分析，生成報(bào)告等都非常簡(jiǎn)便。

①顯示各個(gè)視野的名稱。

②能根據(jù)樣品名、創(chuàng)建日期和數(shù)據(jù)類型等搜索數(shù)據(jù)。

③在樣品座圖形或CCD圖像上顯示各個(gè)視野的位置。

④會(huì)列表顯示被選區(qū)域的元素圖、譜圖等的數(shù)據(jù)和定量分析結(jié)果等。